Produktbeschreibung
Die automatisierten Schichtdickenmesser F54-XY-200 und F54-XY-300 von Filmetrics messen strukturierte und nicht strukturierte Proben mit einem Durchmesser von bis zu 200 mm bzw. 300 mm. Proben können mithilfe eines fortschrittlichen spektralen Reflexionssystems und branchenführenden Filmetrics-Algorithmen einfach kartiert werden.
Das kompakte System ermöglicht präzise Messpositionierung in Produktionsanwendungen. Ein motorisierter X-Y-200-Messtisch bewegt sich automatisch zu festgelegten Messpunkten und liefert Ergebnisse mit bis zu zwei Punkten pro Sekunde. Messungen von 300-mm-Wafern werden durch den zusätzlichen Hochleistungsrotationstisch in der Konfiguration F54-XYT-300 unterstützt.
Produktmerkmale
- Unterstützt die Messung sowohl strukturierter als auch nicht strukturierter Proben
- Wellenlängenkonfigurationen decken 190 – 1700 nm
- minimaler Messpunkt von 5 μm
- Autofokus und Mustererkennungsfähigkeit
- Gehäusesperre
- Live-Videobild Platz
- für runde Proben mit bis zu 300 mm Größe
- Benutzerdefinierte Probe Punktzuordnung mit rechteckigen, linearen, polaren und benutzerdefinierten Konfigurationen
- Manuelles oder automatisches Deskewing
- Ausgefeilte History-Funktion zum Speichern, Reproduzieren und Darstellen von Ergebnissen
- Integrierte Reflexions- und Schichtdickenstandards
- Umfassende Materialbibliothek und fortschrittliche Modellierungsalgorithmen
- Telefon-, E-Mail- und Online-Support rund um die Uhr (Mo–Fr)
Anwendungen
- Mikrospotmessung für strukturierte und nicht strukturierte Oberflächen
Branchen
Halbleiterfertigung
- Halbleiterprozessfilme
- Verbundhalbleiterfilme
- Flüssigkristallanzeigen (LCDs)
- Optische Beschichtungen und elektrooptische Filme
- Biomedizinische Filme und medizinische Geräte
- MEMS
Weitere Informationen finden Sie auf der Registerkarte Branchen.
